靶材系列 设备及技术服务 电弧等离子喷涂
旋转硅铝靶








 技 术 参 数

成份

纯度
≥99.99%
相对密度
z96%
电阻率
≤8Q.cm
规格-长度(Max)
4000mm
规格-宽度(Max)
宽度(Max)13mm






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