靶材系列 设备及技术服务 电弧等离子喷涂
旋转硅铝靶








 技 术 参 数

成份
 硅
 纯度
 ≥99.99%
相对密度
 z96%
 电阻率
 ≤8Q.cm
规格-长度(Max)
 4000mm
 规格-宽度(Max)
 宽度(Max)13mm






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